Оператор прецизионной фотолитографии

- Ведение установленной технической документации;

- Экспонирование с предварительным совмещением фотошаблона;

- Фильтрация фоторезиста через специальные приспособления;

- Изготовление слоев методом химического фрезерования на пластинах и печатных платах;

- Контроль качества поверхности пластин и фотошаблонов после фотолитографии под микроскопом МБС;

- Электрохимическое никелирование заготовок масок;

- Ретушь фоторезиста в соляной кислоте.

Оператор прецизионной фотолитографии должен знать:

- наименование и назначение важнейшних частей и принцип действия обслуживаемого оборудования;

- назначение и условия применения специальных приспособлений и приборов для контроля процесса;

- основные свойства фоторезистов;

- назначение и работу микроскопов;

- состав и основные свойства светочувствительных эмульсий, правила хранения и использования их;

- принцип действия и правила работы на установке сравнения фотошаблонов;

- настройку и регулирование обслуживаемого оборудования и приспособлений в процессе работы.