72.19.3 |
Научные исследования и разработки в области нанотехнологийОСНОВНОЙ |
26.11.2 |
Производство диодов, транзисторов и прочих полупроводниковых приборов, включая светоизлучающие диоды, пьезоэлектрические приборы и их части |
26.11.3 |
Производство интегральных электронных схем |
28.99.2 |
Производство оборудования и аппаратуры для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев |